基于集總熱容法的薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性

摘要:為了分析不同邊界傳熱條件下薄膜熱電偶的動(dòng)態(tài)特性,對薄膜熱電偶瞬態(tài)測溫過(guò)程建立零維傳熱模型。運用集總熱容法分析對流換熱、輻射換熱兩種邊界條件下薄膜熱電偶傳熱過(guò)程,通過(guò)建立熱結點(diǎn)表面能量平衡關(guān)系得到傳感器動(dòng)態(tài)特性理論參數。采用水浴階躍法、激光脈沖法對薄膜熱電偶進(jìn)行動(dòng)態(tài)標定,通過(guò)對動(dòng)態(tài)響應曲線(xiàn)進(jìn)行Z-t變換得到薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性實(shí)驗參數。實(shí)驗結果表明,集總熱容法能夠正確分析薄膜熱電偶的動(dòng)態(tài)特性,且計算不同邊界條件下薄膜熱電偶時(shí)間常數過(guò)程簡(jiǎn)單,時(shí)間常數理論值接近實(shí)驗值。
　　動(dòng)態(tài)特性是反映薄膜熱電偶快速測溫能力的重要性質(zhì),通常采用水浴法、激波法、電加熱回路法、激光脈沖法等動(dòng)態(tài)標定實(shí)驗方法來(lái)確定動(dòng)態(tài)特性參數。由于薄膜熱電偶缺乏統一的動(dòng)態(tài)標定方案,不同標定方案邊界傳熱條件不同，實(shí)驗得出的動(dòng)態(tài)特性參數存在差別。如何對不同邊界條件下薄膜熱電偶的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行理論分析是快速測溫領(lǐng)域亟需解決的問(wèn)題。
目前主要采用一維非穩態(tài)傳熱模型對薄膜熱電偶進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析，采用一維非穩態(tài)傳熱模型分析動(dòng)態(tài)特性結果較為正確,能夠得出薄膜厚度對動(dòng)態(tài)特性的影響,但是計算過(guò)程復雜,且沒(méi)有對不同邊界傳熱條件下熱電偶動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行分析。
　　以通用薄膜熱電偶為對象,通過(guò)建立零維傳熱模型,結合集總熱容計算方法,研究不同邊界條件對薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性的影響。分析表明不同邊界條件下傳感器動(dòng)態(tài)特性不同,通過(guò)動(dòng)態(tài)標定實(shí)驗證明,采用集總熱容法能夠正確分析膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性。
1薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)標定過(guò)程
　　薄膜熱電偶電極膜厚通常為微納米量級,熱結點(diǎn)熱容量小,可快速響應瞬態(tài)溫度變。通常將熱電偶看作一階系統傳感器,采用時(shí)間常數作為傳感器動(dòng)態(tài)特性參數,時(shí)間常數越小,熱電偶動(dòng)態(tài)特性越好。通常采用動(dòng)態(tài)標定實(shí)驗確定薄膜熱電偶時(shí)間常數。
　　動(dòng)態(tài)標定實(shí)驗中,薄膜熱電偶需要具有理想階躍前沿的激勵信號,傳統熱電偶動(dòng)態(tài)標定激勵信號主要為階躍信號,一般采用水浴、油浴、風(fēng)洞作為階躍信號激勵源。隨著(zhù)對薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)標定研究的深入,脈沖信號越來(lái)越多的作為傳感器動(dòng)態(tài)標定的激勵信號,一般采用激光、激波、子彈作為脈沖信號激勵源。薄膜熱電偶對階躍信號和脈沖信號的響應曲線(xiàn)如圖1所示[9]
 
　　通常認為一階傳感器在階躍前沿信號作用下,輸出值達到最大值63.2%所經(jīng)歷的時(shí)間為時(shí)間常數?,直接從圖1所示響應曲線(xiàn)上讀取時(shí)間常數的方法并沒(méi)有涉及動(dòng)態(tài)響應的全過(guò)程，測量結果僅取決于個(gè)別值，因此獲取的時(shí)間常數可靠性較差。通過(guò)對一階系統響應曲線(xiàn)進(jìn)行Z-?變換來(lái)確定時(shí)間常數,并根據Z-?曲線(xiàn)與理想直線(xiàn)的擬合程度判斷薄膜熱電偶與階線(xiàn)性傳感器的符合程度。
熱電偶對階躍前沿響應曲線(xiàn)可以近似為系統階躍響應函數。
 
　　由圖2可得Z-?擬合曲線(xiàn)關(guān)系式為:
 
      　Z和時(shí)間?呈線(xiàn)性關(guān)系，通過(guò)Z-?線(xiàn)性擬合曲線(xiàn)的斜率和響應曲線(xiàn)上升幅值即可計算時(shí)間常數,時(shí)間常數為:
 
該方法考慮了響應的全過(guò)程,計算時(shí)間常數較為準確。
2薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性分析
由于薄膜熱電偶沒(méi)有統一的動(dòng)態(tài)標定實(shí)驗方法，因此實(shí)驗得出的時(shí)間常數與實(shí)驗條件密切相關(guān),為了能夠得到正確的時(shí)間常數,需要對不同邊界條件下薄膜熱電偶進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。除電加熱回路法外,薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)標定方法中邊界條件主要為對流換熱及輻射換熱。采用水浴階躍法、激光脈沖法兩種動(dòng)態(tài)標定方法提供兩種邊界條件,首先判斷能否應用集總熱容法分析薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性,然后對薄膜熱電偶瞬態(tài)測溫過(guò)程建立零維傳熱模型,運用集總熱容法推導出時(shí)間常數公式,最后計算出薄膜熱電偶在兩種邊界條件下時(shí)間常數理論值。
2.1集總熱容法
　薄熱電偶熱結點(diǎn)體積小，熱擴散系數大,表面換熱速率相對內部導熱速率非常小，內部溫度扯平的能力遠大于溫度源與熱結點(diǎn)表面換熱的能力。在動(dòng)態(tài)標定任何時(shí)刻,認為熱結點(diǎn)的溫度在空間，上是均勻的,對熱結點(diǎn)建立溫度只隨時(shí)間變化而不隨空間坐標變化零維傳熱模型,通過(guò)建立熱結點(diǎn)表面能量平衡關(guān)系來(lái)確定薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性,這種忽略物體內部導熱熱阻的簡(jiǎn)化方法稱(chēng)為集總參數法。集總熱容法的應用條件為:
 
　　式中,Bi為畢渥數,h為對流換熱系數,k為熱電偶熱結點(diǎn)導熱系數,Lc為薄膜熱電偶膜厚。畢渥數Bi為無(wú)量綱數,如果Bi≤1,說(shuō)明熱結點(diǎn)導熱熱阻遠小于穿過(guò)流體邊界層的對流熱阻,此時(shí)可認為瞬態(tài)測溫過(guò)程中任何時(shí)刻熱結點(diǎn)中的溫度分布是均勻的。
　　采用水浴階躍提供對流換熱邊界條件，h=50~15000W/(m².k),薄膜熱電偶k=20W/(m.k),Lc=15.8μm,所以:
 
　　采用激光脈沖提供輻射換熱邊界條件,激光脈沖在熱結點(diǎn)表面作用結束后,熱結點(diǎn)暴露在空氣中此時(shí)熱結點(diǎn)在空氣中對流換熱系數為h=5~100W/(m².k)。
 
　　通過(guò)以上分析可知,薄膜熱電偶在水浴和空氣中滿(mǎn)足集總熱容條件，畢渥數遠小于0.1,因此可以采用集總熱容法對其動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行分析。
2.2兩種邊界條件下動(dòng)態(tài)特性分析
2.2.1對流換熱邊界條件下動(dòng)態(tài)特性分析
　　將薄膜熱電偶迅速置于溫度為T(mén)∞的水浴中，此時(shí)傳熱過(guò)程如圖3所示，熱量以對流換熱的方式從水中傳輸到熱結點(diǎn)表面。根據集總熱容法可以知，此時(shí)熱結點(diǎn)隨時(shí)間變化而升溫。
 
　　式中,h為水浴在熱結點(diǎn)表面的對流換熱系數,ρ、c、V、A分別為熱結點(diǎn)密度、比熱容、體積和表面積。
　　引人過(guò)余溫度θ=T-T∞,T為熱結點(diǎn)溫度,T∞為水浴溫度,由于T∞為常數則有d0/dt=dT/dt,可得:
 
2.2.2輻射換熱邊界條件下動(dòng)態(tài)特性分析
　　對薄膜熱電偶進(jìn)行激光激勵時(shí)，傳熱過(guò)程如圖4所示，激光在脈沖時(shí)間tw內作用在熱結點(diǎn)表面，激光入射深度內熱結點(diǎn)的自由電子被激發(fā),這種激發(fā)在10^-13s內轉化為熱能,該能量在激光作用期間被厚度為?1的膜層吸收。
 
　　根據激光波長(cháng)、功率參數及材料吸收率可確定厚度?1約為10nm,遠遠小于膜厚d。激光標定的實(shí)質(zhì)是向熱結點(diǎn)表面提供--個(gè)脈沖能量Q,該能量在熱結點(diǎn)表面轉化為熱能
 
　　式中ε為熱結點(diǎn)表面對激光的吸收率,W為激光器功率,tw為激光脈沖持續時(shí)間,Vt為激光作用穿透深度lt時(shí)的體積,Tt為激光作用后熱結點(diǎn)表面溫度,Vd為熱結點(diǎn)的體積,Td為熱結點(diǎn)內部達到熱平衡時(shí)溫度,T0為熱結點(diǎn)初始溫度,即環(huán)境溫度。
　　激光脈沖結束后,熱結點(diǎn)暴露在空氣中,可以判斷此時(shí)熱結點(diǎn)滿(mǎn)足集總熱容條件,熱量由表面?1厚度的膜層內向熱結點(diǎn)內部以熱傳導的形式傳遞,熱結點(diǎn)在響應曲線(xiàn)最高點(diǎn)處達到溫度平衡。此時(shí)傳熱過(guò)程如圖5所示。
 
　　根據一階系統時(shí)間常數定義，當θ/θ。=36.8%時(shí)可得τ=τ^*”,因此輻射換熱邊界條件下時(shí)間常數為:
 
2.2.3薄膜熱電偶時(shí)間常數計算
采用薄膜熱
　　電偶進(jìn)行分析及實(shí)驗,熱電偶相關(guān)參數l。=15.8μm,k=20W/(m.k),c=1.2x10²J/(kg.k),ρ=18x10³kg/m³,薄膜熱電偶如圖6所示。
 
　　采用水浴階躍法進(jìn)行動(dòng)態(tài)標定時(shí),水浴對流換熱系數h=70W/(m².k),由式(9)計算可知薄膜熱電偶時(shí)間常數為401ms?？紤]階躍前沿理想性,薄膜熱電偶投擲速度為10m/s,熱結點(diǎn)尺寸為300μmx300μm,熱結點(diǎn)進(jìn)入水浴時(shí)間為30μs,該階躍前沿寬度與時(shí)間常數差距非常大,可認為此時(shí)水浴提供的階躍信號前沿理想。因此在對流換熱邊界條件下薄膜熱電偶理論時(shí)間常數為401ms。
　　采用激光脈沖法進(jìn)行動(dòng)態(tài)標定時(shí),由式(14)計算可知薄膜熱電偶理想時(shí)間常數為18μs,與提供時(shí)間常數一致?？紤]階躍前沿理想性,激光脈沖信號寬度為10μs,數量級與時(shí)間常數相同,此時(shí)激光脈沖階躍前沿不夠理想,計算時(shí)間常數需要考慮前沿寬度。因此在輻射換熱邊界條件下CO1-K型薄膜熱電偶理論時(shí)間常數應為28μs。
3動(dòng)態(tài)標定實(shí)驗及結果分析
　　采用水浴階躍法、激光脈沖法兩種動(dòng)態(tài)標定方法來(lái)提供邊界條件,激勵源分別采用福祿克7341臺式恒溫槽和西安赫胥爾鐳光纖激光器。輸出熱電勢信號使用AD8421放大,并采用冰水混合物對熱電偶進(jìn)行冷端補償。實(shí)驗系統如圖7所示。
 
　　水浴階躍法動(dòng)態(tài)標定時(shí),臺式恒溫槽提供水浴階躍信號,在水浴溫度60C時(shí)穩定性為±0.005℃,薄膜熱電偶迅速投人水浴,采集卡采樣頻率為1kHz,讀取數據如圖8(a)所示。
 
　　根據響應曲線(xiàn)上升部分得出相應的Z-?曲線(xiàn)，對Z-?曲線(xiàn)進(jìn)行線(xiàn)性擬合,見(jiàn)圖8(b),擬合方程為:
 
　　將擬合曲線(xiàn)斜率及響應曲線(xiàn)躍升幅值代人式(4),即可計算出薄膜熱電偶在60℃水浴階躍激勵下時(shí)間常數。
 
　　激光脈沖法采用西安赫胥爾鐳光纖激光器提供激光脈沖,波長(cháng)為980nm,功率2W,使用NI-6259數據采集卡提供單脈沖矩形波信號,使激光脈沖寬度為10μs,同時(shí)使用采集卡對微納膜厚熱電偶電動(dòng)勢輸出進(jìn)行采樣，采樣頻率為1MHz。讀取數據如圖9(a)所示。
　　將激勵響應曲線(xiàn)(a).上升部分得出相應的Z-?曲線(xiàn),對Z-?曲線(xiàn)進(jìn)行線(xiàn)性擬合,見(jiàn)圖9(b),擬合方程為:
 
　　由實(shí)數據可知,水浴階躍法、激光脈沖法得出實(shí)際時(shí)間常數分別為506ms,101μs,與理論值40128μs比較可知,薄膜熱電偶在對流換熱邊界條件下時(shí)間常數理論計算值接近實(shí)際計算值。針對激光脈沖激勵下熱電偶響應時(shí)間常數實(shí)驗值與理論值偏差較大的問(wèn)題,分析原因如下:①通過(guò)Z-?擬合曲線(xiàn)線(xiàn)性相關(guān)度可知,薄膜熱電偶對激光脈沖的響應不能認為是理想的一階響應曲線(xiàn)，采用時(shí)間常數作為薄膜熱電偶在輻射換熱邊界下的動(dòng)態(tài)特性參數本身即存在誤差。②激光脈沖在熱結點(diǎn)表面作用非常復雜,響應曲線(xiàn)存在較大波動(dòng),影響時(shí)間常數準確性。③激光源參數不夠理想，無(wú)法提供前沿更為理想的激光脈沖,對動(dòng)態(tài)標定實(shí)驗結果有一定影響。
 
4結論
　　分析了薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)標定過(guò)程中的傳熱過(guò)程,并對傳熱過(guò)程建立零維非穩態(tài)傳熱模型,運用集總熱容法分析對流及輻射換熱兩種邊界條件下薄膜熱電偶的動(dòng)態(tài)特性。與傳統方法相比,集總熱容法計算過(guò)程簡(jiǎn)單,適用于兩種邊界條件下動(dòng)態(tài)特性分析。采用兩種動(dòng)態(tài)標定方法進(jìn)行實(shí)驗,對比時(shí)間常數理論值與實(shí)驗值可知,對流換熱邊界條件下時(shí)間常數理論計算值接近實(shí)際計算值,實(shí)驗值誤差為25%,激光脈沖激勵下熱電偶響應時(shí)間常數實(shí)驗值與理論值偏差較大,但是結果仍為相同數量級，通過(guò)對實(shí)驗過(guò)程與理想動(dòng)態(tài)標定過(guò)程的分析,可認為采用集總熱容法分析薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)標定過(guò)程簡(jiǎn)單，計算時(shí)間常數結果可靠。